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艾克賽普自動上下料傳送系統

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產品時間︰2020-04-22 15:03

簡要描述︰

艾克賽普光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統 Model 3775 主要特色︰ 低破片率 高產量 機器人傳送取放 表面檢查︰選配 上貨載具︰石英晶舟 下貨載具︰Manz盒 / Cassette(選項) 通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟, 或長版晶舟來...

詳細介紹
艾克賽普光伏芯片擴散制程上下貨及檢測系統 Model 3775
主要特色︰
低破片率
高產量
機器人傳送取放
表面檢查︰選配
上貨載具︰石英晶舟
下貨載具︰Manz盒 / Cassette(選項)
  通常用于芯片磷擴散的爐管制程。在擴散制程中致茂可提供客戶使用短版的晶舟, 或長版晶舟來上下載具的傳輸設備。芯片的傳送使用高速富撓性的取放機器人。致茂在擴散過程中提供的載具傳輸設備,低破片率,高產量和低成本可滿足客戶的擴散制程功能要求。

 


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